金融界2024年2月23日消息，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社申请一项名为“重叠测量法“的专利，公开号CN117590699A，申请日期为2023年7月。

　　专利摘要显示，提供了一种重叠测量方法，包括：设置基底上的重叠偏移，通过照射电子束获得单元图像，以及基于单元图像获得上图案的第一图像和下图案的第二图像，将第一图像与第二图像合并，测量合并图像的重叠，以及校正用于测量重叠的测量参数，以提高所述重叠偏移与所述重叠的测量结果值之间的一致性，其中，测量参数基于所述重叠的结果值中的被分类为测量失败的测量失败值的数量而被校正。